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影響等離子清洗機放電的匹配器,誠峰智造為您分析

等離子清洗機不放電或者放電不穩定,往往是等離子發生器的阻抗匹配出了狀況。等離子發生器在進行能量傳輸時,假如反應腔體和電極(以下簡稱負載)阻抗和傳輸線的特征阻抗不相等,就會在傳輸時發生反射,有部分能量通過發熱等方式損失掉了,而不是所有能量都被等離子清洗機的負載吸收,這樣就會直接影響等離子表面處理的效果。

在高頻放電回路中,為了保證用于放電區的功率消耗保護振蕩器,常規的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設置阻抗匹配網絡,以便按不同放電條件進行調節,使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗能夠匹配,讓等離子清洗機放電穩定,工作效率高。

影響等離子清洗機匹配效果的幾個主要因素

等離子清洗機的匹配器,就好比是等離子發生器的伴侶,兩者要相互匹配,不可用小功率的匹配器去適應大功率的等離子發生器,除此之外,要想等離子清洗機取得理想的匹配效果,還需注意以下幾個方面。

1.在設計等離子清洗機的反應腔體和電極的時候,要與匹配器供應商充分溝通相關技術參數,以滿足等離子清洗機的匹配要求;

2.等離子清洗機在安裝匹配器的時候,應盡量靠近反應腔體和電極,縮短連線,減少功率損耗;

3.氣體流量、真空度、處理的產品材質和數量等因素都可能影響阻抗匹配,需根據實際情況做調整。

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